Приставка ионно-лучевого травления ИЛТ 8 200 используется в составе любых вакуумных напылительных комплексов, в том числе ВУП4, ВУП5М, ВН2000М. Приставка предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме.
